नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (NF3) उच्च शुद्धता वायू
मूलभूत माहिती
| CAS | ७७८३-५४-२ |
| EC | २३२-००७-१ |
| UN | २४५१ |
हे साहित्य काय आहे?
नायट्रोजन ट्रायफ्लोराइड (NF3) हा रंगहीन आणि गंधहीन वायू खोलीच्या तपमानावर आणि वातावरणाच्या दाबावर असतो. हे मध्यम दाबाने द्रवीकरण केले जाऊ शकते. NF3 सामान्य स्थितीत स्थिर आहे आणि ते सहजपणे विघटित होत नाही. तथापि, उच्च तापमानात किंवा विशिष्ट उत्प्रेरकांच्या उपस्थितीत ते विघटित होऊ शकते. वातावरणात सोडल्यावर NF3 मध्ये उच्च ग्लोबल वार्मिंग क्षमता (GWP) असते.
हे साहित्य कुठे वापरायचे?
इलेक्ट्रॉनिक्स उद्योगात क्लीनिंग एजंट: NF3 चा वापर सेमीकंडक्टर्स, प्लाझ्मा डिस्प्ले पॅनल्स (PDPs) आणि इतर इलेक्ट्रॉनिक घटकांच्या पृष्ठभागावरुन ऑक्साईड सारख्या अवशिष्ट दूषित पदार्थ काढून टाकण्यासाठी मोठ्या प्रमाणावर स्वच्छता एजंट म्हणून केला जातो. हे या पृष्ठभागांना इजा न करता प्रभावीपणे स्वच्छ करू शकते.
सेमीकंडक्टर फॅब्रिकेशनमध्ये एचिंग गॅस: एनएफ3 हा सेमीकंडक्टरच्या उत्पादन प्रक्रियेत एचिंग गॅस म्हणून वापरला जातो. हे विशेषतः सिलिकॉन डायऑक्साइड (SiO2) आणि सिलिकॉन नायट्राइड (Si3N4) कोरण्यात प्रभावी आहे, जे एकात्मिक सर्किट्सच्या निर्मितीमध्ये वापरले जाणारे सामान्य साहित्य आहेत.
उच्च-शुद्धतेच्या फ्लोरिन संयुगांचे उत्पादन: विविध फ्लोरिनयुक्त संयुगांच्या निर्मितीसाठी NF3 हा फ्लोरिनचा एक मौल्यवान स्रोत आहे. हे फ्लोरोपॉलिमर, फ्लोरोकार्बन्स आणि विशेष रसायनांच्या उत्पादनात अग्रदूत म्हणून वापरले जाते.
फ्लॅट पॅनेल डिस्प्ले निर्मितीमध्ये प्लाझ्मा निर्मिती: फ्लॅट पॅनेल डिस्प्लेच्या उत्पादनात प्लाझमा तयार करण्यासाठी NF3 चा वापर इतर वायूंसोबत केला जातो, जसे की लिक्विड क्रिस्टल डिस्प्ले (LCDs) आणि PDPs. पॅनेल फॅब्रिकेशन दरम्यान डिपॉझिशन आणि एचिंग प्रक्रियेमध्ये प्लाझ्मा आवश्यक आहे.
लक्षात ठेवा की या सामग्री/उत्पादनाच्या वापरासाठी विशिष्ट अनुप्रयोग आणि नियम देश, उद्योग आणि उद्देशानुसार बदलू शकतात. कोणत्याही अनुप्रयोगात ही सामग्री/उत्पादन वापरण्यापूर्वी नेहमी सुरक्षितता मार्गदर्शक तत्त्वांचे अनुसरण करा आणि तज्ञाचा सल्ला घ्या.
