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Argon (Ar), Edelgas, hochrein
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Helium (He), Edelgas, hochrein
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Neon (Ne), Edelgas, hochrein
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Xenon (Xe), Edelgas, hochrein
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Krypton (Kr), Edelgas, hochrein
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Hochreines Silan (SiH4).
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Stickstofftrifluorid (NF3), hochreines Gas
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Kohlenstofftetrafluorid (CF4), hochreines Gas
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Schwefelhexafluorid (SF6), hochreines Gas
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Lachgas (N2O), hochreines Gas
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Stickoxid (NO) hochreines Gas
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